Halbleiter und Instrumentierung
In den Bereichen leitfähige Materialien und Instrumente dienen Flansche als zentrale Komponenten, die gleichzeitig die Funktionen Verbindung, Abdichtung, Installationspositionierung, Wärmemanagement und Kontaminationsbeständigkeit erfüllen. In Hoch-/Ultrahochvakuumsystemen für Halbleiterprozesse wie Lithographie, Ätzen und Abscheidung ermöglichen Flansche vom Typ KF, CF und ISO standardisierte Schnittstellen und eine leckagefreie Abdichtung zwischen Kammern, Pumpenbaugruppen und Ventilen. Dadurch wird die Verunreinigung vermieden und die Ausbeute des Waferprozesses sichergestellt.
Wir produzieren nach mehreren internationalen Standards, darunter GB, ASME, JIS, EN und DIN.
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