Halbleiter & Messtechnik
In den Bereichen leitfähige Materialien und Instrumente dienen Flansche als zentrale Komponenten, die gleichzeitig die Funktionen Verbindung, Abdichtung, Installationspositionierung, Wärmemanagement und Kontaminationsbeständigkeit erfüllen. In Hoch-/Ultrahochvakuumsystemen für Halbleiterprozesse wie Lithographie, Ätzen und Abscheidung ermöglichen Flansche vom Typ KF, CF und ISO standardisierte Schnittstellen und eine leckagefreie Abdichtung zwischen Kammern, Pumpenbaugruppen und Ventilen. Dadurch wird die Verunreinigung vermieden und die Ausbeute des Waferprozesses sichergestellt.
Quadratischer Flansch
Spezialrute
Spezieller langer Schweißhalsflansch
Spezielle Schmiedeplatte
Schmiedestange
Buchse
Rotierender Körperflansch
Langer Flansch mit hohem Hals
Blindflansch in Abbildung 8
Europäischer Standard, flacher Flansch mit Hals
EN-Standard-Schweißhalsflansch
EN-Standard-Flachplattenflansch
Wir produzieren nach mehreren internationalen Standards, darunter GB, ASME, JIS, EN und DIN.
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